韩国工业AI公司Mithril与一家韩国半导体设备制造商签署清洗设备AI产品化合同，金额2.3亿韩元。双方计划年底前在实际设备上完成性能验证，明年起将该AI装入量产清洗设备。
这套名为Cleaning AI Brain的系统实时分析清洗设备运行数据，监测压力、流量、温度、化学浓度、阀门动作等参数，必要时还分析泵电流与振动。与传统按单传感器阈值报警不同，它学习多个传感器读数共同变化的关系，能识别各读数均合规但整体模式已偏移的异常，并按影响程度列出关键传感器供工程师核对。
Mithril设定的性能指标包括：异常检测F1分数不低于0.93，正常误判为异常的比例不超过1%，真实原因出现在AI推荐前三的比例不低于85%，部署后至少保持90%初始表现。概念验证阶段盲测未出现漏检，但量产环境下的误报、漏检与响应时间仍待年底验证。公司目标是从发现异常到给出处置建议的响应时间控制在2秒以内。
部署上，AI运行在设备内部而非云端，避免原始工艺数据外流。商业上，除产品开发费外，Mithril计划按每台量产设备收取授权费，并考虑对模型更新维护单独收费。清洗工艺验证完成后，公司计划将同类AI拓展至刻蚀与化学气相沉积设备。